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產(chǎn)品信息簡介：致力于設(shè)備及工廠生產(chǎn)自動化：半導(dǎo)體分立器件、太陽能電池、功能材料/磁性材料等行業(yè)，為客戶提供生產(chǎn)自動化（無人）解決方案

產(chǎn)品信息工作方式：鏈帶/輥道，連續(xù)/半連續(xù)/周期工作方式

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釤鈷、釹鐵硼等磁性材料、功能材料的精密真空氣氛燒結(jié)等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能稀土永磁材料如釹鐵硼等磁性材料精細(xì)制粉工藝,，以及高性能磁性材料和功能性材料的氮化處理工藝等

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釹鐵硼等磁性材料的高精密擴(kuò)散滲鏑、滲鋱等工藝，以及高性能磁性材料和功能性材料的氮化處理工藝等

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釤鈷、釹鐵硼等磁性材料、功能材料的精密真空氣氛燒結(jié)、退火（快冷）等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釹鐵硼等磁性材料的高精密擴(kuò)散滲鏑、滲鋱等工藝，以及高性能釤鈷等磁性材料的精密真空氣氛燒結(jié)、退火（含快冷）等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釹鐵硼等磁性材料的高精密擴(kuò)散滲鏑、滲鋱等工藝,以及高性能釤鈷等磁性材料的精密真空氣氛燒結(jié)、退火（含快冷）等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釤鈷、釹鐵硼等磁性材料、功能材料的精密真空氣氛燒結(jié)等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于高性能釹鐵硼等磁性材料的高精密擴(kuò)散滲鏑、滲鋱等工藝，以及高性能釤鈷等磁性材料的精密真空氣氛燒結(jié)、退火（含快冷）等工藝

產(chǎn)品信息簡介：應(yīng)用于半導(dǎo)體功率器件、電力電子器件、二極管、精密材料等的燒結(jié)、退火、燒封、釬焊等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于半導(dǎo)體功率器件、電力電子器件、精密材料、高性能新材料（如陶瓷、陶瓷金屬化等）的真空/氣氛熱處理（如燒結(jié)、封裝、退火、時效等）等工藝

產(chǎn)品信息簡介：主要用于半導(dǎo)體功率器件、電力電子器件、精密材料、高性能新材料（如陶瓷、陶瓷金屬化等）的真空/氣氛熱處理（如燒結(jié)、封裝、退火、時效等）等工藝

產(chǎn)品信息產(chǎn)品性能：◆溫度：500～2500℃

產(chǎn)品信息簡介：水平LPCVD是高質(zhì)量大批量大尺寸石墨烯CVD法生長專用設(shè)備，多種工藝氣體、生長壓力、工藝溫度、工藝過程計算機(jī)全自動控制

產(chǎn)品信息簡介：垂直HVPE設(shè)備用于在藍(lán)寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜（導(dǎo)模法）、厚膜及晶體生長，及AlN等外延生長

產(chǎn)品信息簡介：水平HVPE設(shè)備用于在藍(lán)寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜（導(dǎo)模法）、厚膜及晶體生長，及AlN等外延生長

產(chǎn)品信息簡介：用于246SiC或GaN的高溫退火、活化等的特殊工藝