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HVPE-垂直

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更新時間：2023-02-25 08:13:11瀏覽次數：46次

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產品信息簡介：垂直HVPE設備用于在藍寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜（導模法）、厚膜及晶體生長，及AlN等外延生長
  • 產品信息
    簡介：
     
    垂直HVPE設備用于在藍寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜（導模法）、厚膜及晶體生長，及AlN等外延生長。
     
    產品性能：
     
    ◆工作溫度：200～1200℃/2200℃
     
    ◆結構方式：水平/垂直，片數：1/3/6/多片（科研/生產型）
     
    ◆多溫區，動態高精度生長條件控制
     
    ◆低壓、常壓、微正壓工藝方式，襯底片升降、旋轉（厚膜/晶體生長）

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