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快速退火RTP-1

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更新時(shí)間：2023-02-25 08:08:01瀏覽次數(shù)：40次

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  • 產(chǎn)品信息
    產(chǎn)品性能：
     
    ◆熱壁雙腔/鹵鎢燈加熱式/感應(yīng)加熱式
     
    ◆結(jié)構(gòu)方式：水平/垂直
     
    ◆溫度：200～1100℃
     
    配套工藝：
     
    ◆快速退火、合金(RTA/RTP)
     
    ◆快速氧化、氮化(RTO/RTN)
     
    ◆快速氣相沉積(RTCVD)
     

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