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高溫退火爐（2000）

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更新時(shí)間：2023-02-25 08:06:29瀏覽次數(shù)：313次

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產(chǎn)品信息簡介：用于246SiC或GaN的高溫退火、活化等的特殊工藝
  • 產(chǎn)品信息
    簡介：
     
    用于2”4”6”SiC或GaN的高溫退火、活化等的特殊工藝。
     
    設(shè)備特點(diǎn)：
     
    ◆優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 占地面積小
     
    ◆靈活多樣的工藝調(diào)整
     
    ◆高溫精確控制，的可靠性
     
    ◆高潔凈度，極低維護(hù)使用成本
     
    配套工藝：
     
    ◆爐型結(jié)構(gòu)：水平/垂直
     
    ◆工藝溫度可達(dá)2200℃（爐體可達(dá)更高的溫度）
     
    ◆小批量R&D為5～25片/爐，生產(chǎn)型為50～100片/爐
     
    ◆常壓/壓力控制，極限＜10-3mbar，工藝壓力：1～250mbar

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