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產品信息簡介：用于在藍寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、厚膜及晶體生長，及AIN等外延生長

產品信息簡介：用于在藍寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、厚膜及晶體生長，及AIN等外延生長

產品信息產品性能：◆滿足2~8（12）寸晶圓工藝◆占地面積小

產品信息簡介：垂直氧化系統應用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域，6、8晶圓的薄膜沉積及參雜等工藝

產品信息簡介：垂直氧化系統應用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域，6、8晶圓的氧化、合金退火等工藝

產品信息簡介：水平氧化爐、水平擴散爐應用于IC集成電路、MEMS、功率器件、電力電子器件、光電子器件、太陽能電池等領域

產品信息簡介：水平LPCVD系統應用于IC集成電路、MEMS、功率器件、納米技術、光電子器件等領域

產品信息簡介：RTP系統用于IC集成電路，MEMS器件、光電子器件、LED、太陽能電池領域，適用于晶圓的快速熱處理工藝

產品信息產品性能：◆滿足2~8（12）寸晶圓工藝◆占地面積小