国产91在线|亚洲/米奇精品一区二区三区在线观看/亚洲国产精品一区二区九九/五月婷婷基地

青島華旗科技有限公司
免費會員

當前位置：青島華旗科技有限公司>>半導體工藝裝備>> LPCVD系統 __ 水平系列

LPCVD系統 __ 水平系列

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地

更新時間：2021-12-07 08:33:48瀏覽次數：79次

聯系我時，請告知來自 化工機械設備網
同類優質產品更多>
產品信息簡介：水平LPCVD系統應用于IC集成電路、MEMS、功率器件、納米技術、光電子器件等領域
  • 產品信息
    簡介：
    水平LPCVD系統應用于IC集成電路、MEMS、功率器件、納米技術、光電子器件等領域。
     
    產品性能：
     
    滿足4~8寸晶圓工藝
     
    每臺1~4/5管，石英/SiC反應管
     
    恒溫區：800/1000/1250mm
     
    溫度：200~1000℃
     
    高精度可靠的自動壓力控制系統
     
    全自動機械手裝卸，懸臂/軟著陸
     
    高集成度，完整的工廠MES系統對接
     
    配套工藝：
    多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2
     
    磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG
     
    TEOS，LTO，HTO，SIPOS...
     
     

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏！
標簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復您~
在線留言