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垂直氧化系統(tǒng) __ 8寸系列

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更新時(shí)間：2021-12-07 08:38:44瀏覽次數(shù)：107次

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產(chǎn)品信息簡介：垂直氧化系統(tǒng)應(yīng)用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領(lǐng)域，6、8晶圓的氧化、合金退火等工藝
  • 產(chǎn)品信息
    簡介：
     
    垂直氧化系統(tǒng)應(yīng)用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領(lǐng)域，6”、8”晶圓的氧化、合金退火等工藝。
     
    產(chǎn)品性能：
     
    ◆立式結(jié)構(gòu)，高效產(chǎn)能，150片/批
     
    ◆配套標(biāo)準(zhǔn)成套工藝，滿足客戶需求
     
    ◆穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性，重復(fù)性好
     
    ◆微環(huán)境低氧控制*技術(shù)
     
    ◆高集成度，完整的工廠MES系統(tǒng)對(duì)接，符合SECS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)
     
    配套工藝：
     
    ◆氧化：干氧/濕氧（DCE,HCL）
     
    ◆氮、氫退火，燒結(jié)、合金，固化等
     
    ◆快速熱退火
     
     

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