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凱戈納斯儀器商貿（上海）有限公司
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MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐
MILA-700AR是一款風冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000，該設備加熱過程中不需要外接水冷，可由設備自身配置的風冷系統進行降溫。
| 應用 | 特點： |
| 1. 晶圓，復合晶圓的快速加熱 | 1. 50°C / s快加熱 |
| 2. 光化學氣相沉積襯底加熱 | 2. 可在真空，惰性氣體，流動氣氛，空氣的氣氛下進行加熱 |
| 3. 熱循環測試 | 3. 精確的溫度控制 |
| 4. 涂膜的耐熱性評估 | 4. 緊湊的臺式設計，工作無需匹配水冷循環系統 |
| 5. 有機材料和樹脂的加熱和干燥 |
參數
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