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ULVAC愛發科二手葉片式濺射設備CERAUS ZX-1000

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具體成交價以合同協議為準

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更新時間：2023-02-25 12:49:22瀏覽次數：139次

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ULVAC愛發科二手葉片式濺射設備CERAUSZX-1000與2011年投入使用，針對于8英寸晶圓使用

ULVAC愛發科二手葉片式濺射設備CERAUS ZX-1000與2011年投入使用，針對于8英寸晶圓使用。

參數規格：

■8英寸規格，7角形芯Ch

■大氣側搬送系2階段規格

■濺射室（Ti）×2室、ICP、

■本機尺寸：2400W×2200D×1900H

■電源機柜尺寸：1700W×1300D×2000H

加熱室

■DC濺射規格

■陰極：磁鐵旋轉型

■目標尺寸：φ 300ｍｍ

■基板載物臺：帶靜電卡盤

加熱板

■工藝氣體：Ar、N2

■排氣系統：渦輪分子泵＋低溫存水彎、干泵

■控制系：PC控制μ Port

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