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超g分辨肖特基場發射掃描電鏡 SU7000
- 公司名稱：
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- 上海維翰光電科技有限公司
- 2022-12-09 13:22:16
- 上海
- 225
【簡單介紹】
【詳細說明】
1.采用*異的成像技術 SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。新設計的電子光學系統和檢測系統，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內獲得更*面的樣品信息。 2.采用多通道成像技術 隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進了相應的成像功能。SU7000*多可同時顯示和保存
1.采用*異的成像技術
SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。新設計的電子光學系統和檢測系統，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內獲得更*面的樣品信息。
2.采用多通道成像技術
隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進了相應的成像功能。SU7000*多可同時顯示和保存6通道信號。實現了獲得樣品信息的*大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
1.大型樣品觀察；2.低真空觀察；3.超低溫觀察；4.實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統都shi分完備，觀察方法也是yi應俱quam。
4.支持微納解析
采用肖特基發射電子槍，*大束流可達到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設備可通過選配附件滿足各種特s需求。
成像能力
追求信息*大化的檢測系統
隨著用戶對樣品數據的需求更加多元化，對檢測系統在短時間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下，更*效地獲取形貌、成分、晶體學以及發光等信息。真正實現了更快速、更*面的信息收集。
樣品：包裹有機物的金屬棒
通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應用實例 （加速電壓：1 kV）
采用可多通道顯示的GUI設計
優化信號顯示功能
成像單元在信號顯示上也作了*新升級。用戶可根據觀察需求，選擇不同的視場角和通道數。
單屏*多可同時顯示4通道信號。
導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標圖像。
使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，*多可同時顯示6通道信號。
高自由度的界面布局
使用單屏時，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。
1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出
UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面
布局清晰明了。在實現實時監控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升。
可擴展觀察和分析方法
樣品倉和馬達臺
樣品倉可搭載*大直徑為φ 200 mm；*高80 mm的樣品。大開倉設計，標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸*大移動距離為135×100 mm，*重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺*全不成問題。
技術參數
*1為選配項。
*2支持雙屏顯示。
1.采用*異的成像技術
SU7000可以迅速獲取從大視野quan貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。新設計的電子光學系統和檢測系統，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內獲得更*面的樣品信息。
2.采用多通道成像技術
隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進了相應的成像功能。SU7000*多可同時顯示和保存6通道信號。實現了獲得樣品信息的*大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
1.大型樣品觀察；2.低真空觀察；3.超低溫觀察；4.實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統都shi分完備，觀察方法也是yi應俱quam。
4.支持微納解析
采用肖特基發射電子槍，*大束流可達到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設備可通過選配附件滿足各種特s需求。
成像能力
追求信息*大化的檢測系統
隨著用戶對樣品數據的需求更加多元化，對檢測系統在短時間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下，更*效地獲取形貌、成分、晶體學以及發光等信息。真正實現了更快速、更*面的信息收集。
同一條件觀察
樣品：包裹有機物的金屬棒
通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應用實例 （加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現了獲取信息的*大化。
采用可多通道顯示的GUI設計
優化信號顯示功能
成像單元在信號顯示上也作了*新升級。用戶可根據觀察需求，選擇不同的視場角和通道數。
單屏*多可同時顯示4通道信號。
導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標圖像。
使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，*多可同時顯示6通道信號。
高自由度的界面布局
使用單屏時，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出
UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面
布局清晰明了。在實現實時監控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升。
可擴展觀察和分析方法
樣品倉和馬達臺
樣品倉外觀標配18個附件接口 馬達臺外觀XY軸可移動距離為135×100 mm
樣品倉可搭載*大直徑為φ 200 mm；*高80 mm的樣品。大開倉設計，標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸*大移動距離為135×100 mm，*重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺*全不成問題。
支持動態觀察的檢測系統
SU7000可用于環境改變的動態觀察。低真空觀察時，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器(**)。
低真空環境的探測器選擇
左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現出氧化物的分散狀態和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應速度提高
左圖是以一般的響應速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質得到了大幅提升。隨著響應速度的提高，更適用于In-Situ觀察。
技術參數
| 項目 | 內容 | ||
|---|---|---|---|
| 圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x | ||
| 電子槍 | 發射體 | ZrO/W熱場發射（肖特基熱場發射） | |
| 加速電壓 | 0.1～30 kV （步進：0.01 kV） | ||
| 束流 | *大200 nA | ||
| 探測器 | 標準探測器 | UD （上探測器) | |
| MD （中探測器） | |||
| LD （下探測器) | |||
| 選配探測器*1 | PD-BSED (半導體式背散射電子探測器） | ||
| UVD（高靈敏度低真空探測器 ） | |||
| 低真空模式*1 | 樣品倉壓力范圍 | 5～300 Pa | |
| 可使用探測器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 馬達臺 | 馬達臺控制 | 5軸馬達驅動 | |
| 移動范圍 | X | 0～135 mm | |
| Y | 0～100 mm | ||
| Z（WD） | 1.5～40 mm | ||
| T（傾斜角） | -5～70° | ||
| R（旋轉角） | 360° | ||
| 樣品尺寸 | *大直徑：φ200 mm, *大高度：80 mm | ||
| 顯示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 | ||
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1,280×960像素顯示 | |
| 單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 | ||
| 雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 | ||
| 四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 | ||
| 六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示 *2 | ||
| 圖像數據保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 選配附件 | 能譜儀（EDX） | ||
| X射線波譜儀（WDX） | |||
| 電子背散射衍射（EBSD） | |||
| 陰極熒光探測器（CL) | |||
| 冷凍傳輸系統 | |||
| 各種功能樣品臺 | |||
*2支持雙屏顯示。
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