CS4800 提供高質量的 SEM 成像、改進的測量精度以及快速、自動化的操作，旨在提高現有生產線的生產力和運營效率，并提高客戶的過程控制能力。此外，CS4800 可以配置為處理兩種不同的晶圓尺寸，客戶可以將其切換到新的晶圓傳輸系統。日立分析儀器計劃擴大對碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 等各種晶圓材料的支持，以滿足客戶對新型半導體或電子設備的多樣化需求。

隨著 CS4800 的開發，日立分析儀器將為廣泛的 4、6 和 8 英寸晶圓廠提供可持續的 CD 測量解決方案，并將支持物聯網應用、可穿戴設備和下一代的新興技術設備功率器件。

主要特點：

• 工具占用空間和 GUI *4旨在輕松更換現有工具。
• 提供經過驗證的高精度測量和的計量應用。
• 自動光軸對準將減少操作員錯誤。
• 具有強大模式匹配的高吞吐量、自動化配方測量操作。
• 提供多種晶圓尺寸選項。

主要參數：