SEMVision G2 的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能。高動態(tài)范圍檢測、背散射電子收集和能量過濾可實(shí)現(xiàn)高縱橫比成像。

基本信息：

型號：AMAT SEMVision G2 +

描述：缺陷審查系統(tǒng)

晶圓尺寸：300mm

序列號：多個(gè)系統(tǒng)可用

保修：按原樣或按客戶規(guī)格翻新

參數(shù)規(guī)格：

1 KeV 時(shí)的分辨率：3 nm

焦點(diǎn)圖/焦點(diǎn)偏移：90% 的缺陷，Delta Z < 3 μms

自動缺陷偏移/XY 圖：95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm

EDX 分辨率：4nm

晶圓產(chǎn)量：12 晶圓 / 小時(shí)

缺陷吞吐量：>1000 個(gè)缺陷/小時(shí)

正面清潔度：0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 處的尺寸

基本配置：

帶 ULPA 過濾器的 FFU

掃描電鏡柱 G2

EDX 柱

45 度立柱傾斜

包括晶圓旋轉(zhuǎn)選項(xiàng)

載物臺晶圓支架 3 PIN

對準(zhǔn)器光學(xué)顯微鏡 X5、X20、X100

晶圓處理：

裝載機(jī)：帶 RFID 的 AMAT ADO

晶圓尺寸：300mm

ETU 300mm

國際電聯(lián) 300 毫米

軟件信息：

軟件版本（WS、IP/ODC SW、MEC、WHC）：v5.1.500 WorkStation SGI FULE

軟件版本（EDX）：VTG_5.0.107

系統(tǒng)性能：

Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm

ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm

Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm

MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm

其他設(shè)施信息：

額定負(fù)載電流：8 A

滿載電流：10A

中斷電流：10,000 安培 IC

電源電壓：1-120 VAC，1-Ph，3 線 208 V，3-Ph，5 線，50/60 Hz