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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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更新時(shí)間:2023-02-24 16:33:58瀏覽次數(shù):144次

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現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100

現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,可以獲得高穩(wěn)定的束流。

通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。

設(shè)備特點(diǎn)

沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍

采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度

設(shè)備規(guī)格

項(xiàng)目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
二次電子分辨率 0.7 nm
(加速電壓15 kV)
0.8 nm
(著陸電壓1 kV)*3
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
著陸電壓 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
樣品臺(tái) 樣品臺(tái)控制 3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái)) 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再現(xiàn)性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm

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