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日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器!
日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )的混合模式帶有兩種研磨配置:
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面以下結構高分辨成像。
平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,從不同角度有選擇地研磨,以便突出樣品的表面特性。
HITACHI Ion Milling System IM4000 的高通量能提高加工效率:與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,減少了橫截面研磨時間。(zui大加工率:硅元素為300微米/小時--加工時間減少了66%。
HITACHI Ion Milling System IM4000 的可拆卸樣品臺裝置:為便于樣品設置和定義研磨邊緣,可將樣品臺裝置拆卸。
特點
混合模式:兩種研磨配置
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面高分辨觀察
平面研磨:不同角度有選擇地,大面積,均勻地研磨5 mm的平面,以突顯樣品的表面特性
高效:提高加工效率,與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,減少了橫截面研磨時間(zui大加工速度:硅材質為300 μm/h - 加工時間減少了66%)
可拆卸式樣品臺:為便于樣品設置和邊緣研磨,樣品臺設計為可拆卸型
規格
項目 | 描述 | |
斷面加工臺 | 平面研磨臺 | |
氣源 | 氬氣(Ar) | |
加速電壓 | 0-6Kv | |
zui大研磨速率﹡¹﹡²(硅材質) | 約300μm/h﹡¹﹡² | 約20μm/h﹡³(點) 約2μm/h﹡?(面) |
zui大樣品尺寸 | 20(W)×12(D)×7(H)mm | Φ50×25(H)mm |
樣品移動范圍 | X±7mm,Y0-+3mm | X0-+5mm |
旋轉角度 | - | 1r/m,25r/m |
擺動角度 | ±15°,±30°,±40° | ±60°,±90° |
傾斜 | - | 0-90° |
氣體流量控制系統 | 流量調節器 | |
排氣系統 | 渦輪分子泵(33L/S)+機械泵(50Hz時,135L/min,60Hz時,162L/min) | |
儀器外觀尺寸 | 616(W)×705(D)×312(H)mm | |
儀器重量 | 主機48kg+機械泵28Kg | |
可選附件 | 光學顯微鏡(用于觀測研磨中的樣品) | |
﹡¹:此研磨速率是對研磨板邊緣處的硅材質的材料研磨至100μm粒度時所獲得的zui大深度值 ﹡²:此研磨速率是對硅材質的材料進行研磨兩小時后獲得的平均值 ﹡³:照射角度60°偏心值4mm ﹡?:照射角度0°偏心值0mm |
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