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三溫液冷機Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A
三溫液冷機Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A
Chiller ZL-20A是一臺對循環液進行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用的制冷及溫度控制技術,具有廣的溫度范圍:-20℃ 至+80℃,在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業用途廣。
三溫液冷機Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A
寬溫度范圍:-20°C~+80°C
占地面積小
觸摸屏操作:友好的人機交互界面
多重保護:空液保護、異常傳感器診斷等多重人機保護
為滿足 200 毫米和 300毫米 OEM 工具規格而設計
三溫液冷機Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A
應用于半導體、激光、FPD,如:半導體(蝕刻裝置、CMP、涂布機·顯影機、試驗機、清洗機)激光(激光加工機·激光焊接機、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程)可適用于廣的行業,如制藥、化工、新能源、半導體、實驗室、高校等多種領域
冷機ZL-20A替代ATS DEX-20A
zonglen三溫液冷機ZL-20A替代ATS DEX-20A,Chiller ZL-20A是一臺對循環液進行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用的制冷及溫度控制技術,具有廣的溫度范圍:-20℃ 至+80℃,在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業用途廣
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