精密冷水機(jī)ZL-20A替代ATS DEX-20A

Chiller ZL-20A是一臺(tái)對(duì)循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用的制冷及溫度控制技術(shù)，具有廣的溫度范圍:-20℃ 至+80℃，在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業(yè)用途廣。

精密冷水機(jī)ZL-20A替代ATS DEX-20A

寬溫度范圍：-20°C~+80°C

占地面積小

觸摸屏操作：友好的人機(jī)交互界面

多重保護(hù)：空液保護(hù)、異常傳感器診斷等多重人機(jī)保護(hù)

為滿足 200 毫米和 300毫米 OEM 工具規(guī)格而設(shè)計(jì)

應(yīng)用于半導(dǎo)體、激光、FPD，如:半導(dǎo)體(蝕刻裝置、CMP、涂布機(jī)·顯影機(jī)、試驗(yàn)機(jī)、清洗機(jī))激光(激光加工機(jī)·激光焊接機(jī)、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程)可適用于廣的行業(yè)，如制藥、化工、新能源、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、高校等多種領(lǐng)域

冷機(jī)ZL-20A替代ATS DEX-20A

精密冷水機(jī)ZL-20A替代ATS DEX-20A，Chiller ZL-20A是一臺(tái)對(duì)循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用的制冷及溫度控制技術(shù)，具有廣的溫度范圍:-20℃ 至+80℃，在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業(yè)用途廣

應(yīng)用于半導(dǎo)體、激光、FPD，如:半導(dǎo)體(蝕刻裝置、CMP、涂布機(jī)·顯影機(jī)、試驗(yàn)機(jī)、清洗機(jī))激光(激光加工機(jī)·激光焊接機(jī)、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程)可適用于廣的行業(yè)，如制藥、化工、新能源、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室、高校等多種領(lǐng)域

冷機(jī)ZL-20A替代ATS DEX-20A

精密冷水機(jī)ZL-20A替代ATS DEX-20A，Chiller ZL-20A是一臺(tái)對(duì)循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用的制冷及溫度控制技術(shù)，具有廣的溫度范圍:-20℃ 至+80℃，在半導(dǎo)體制作過程/激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等行業(yè)用途廣