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TiCl4+2Fe+[C]   TiC+2FeC12

    此外，存在于鋼鐵固溶體內的碳也可以進行如下反應：TiCl4+2H2+[C] TiC+4HCl

    為了防止高溫下金屬被氧氣所氧化而影響涂覆層的質量，通常需預先將 反應爐抽成真空而后再通入氫氣、氬氣或氮氣作為保護氣氛，也可使用脫氧 劑(如鈣、鎂或鋁金屬)。

    對于生成 TiN 的主要反應可簡單表達如下：

      TiCl4+2H2+ 2 N2 TiN+4HCl

    化學氣相沉積工藝所達到的目的與化學熱處理似乎十分相似，但經化學 氣相沉積所產生的涂覆層具有與基體金屬結合牢固、涂層厚度均勻、結構致 密、質量穩定等優點。此外，這類涂覆層還具有類似于潤滑油膜的作用，因 此可作為無油潤滑減摩層，使工件的磨損大為降低。TiC 涂層的硬度比鉻的 硬度還要大，可作為刀具和模具。化學氣相沉積的蕞大缺點是工藝工作溫度 較高。

    涂覆 TiN 的硬質合金不僅外觀美觀，呈金黃色，可作為裝飾品的仿金鍍 層，而且用它作刀具，切削時磨損少，比普通硬質合金允許有更大的切削速 率，刀具壽命也可提高好幾倍。TiN 涂覆層的化學穩定性比 TiC 的要好，抗 蝕性和抗氧化性能均優良。