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TPY-1 型橢圓偏振測厚儀

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天津市拓普儀器有限公司
2006-05-31 10:01:59
天津市拓普儀器有限公司
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【簡單介紹】

在近代科學技術的許多領域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此，更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。

【詳細說明】

在近代科學技術的許多領域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此，更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數，如：布儒斯特角法測介質膜的折射率，干涉法測膜厚，其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優點，因而，橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、醫學等諸多領域得到廣泛應用。

產品特點：

儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點；

光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度高；

儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件，方便用戶使用。

規格與主要技術指標：

測量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1.05-2.50

測量zui小值：≤1nm 入射光波長：632.8nm 光學中心高：80mm

允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm

偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°

外形尺寸：680＊390＊320mm

測量膜厚和折射率重復性精度分別為：±0.5nm和±0.005

主機重量：25kg 入射角連續調節范圍：30°- 90°精度為0.05°

成套性：主機、電控系統、計算軟件


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