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定制快速退火爐

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品       牌

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更新時(shí)間：2023-07-01 09:10:19瀏覽次數(shù)：407次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：6條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該定制快速退火爐是一款由RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述：
    該定制快速退火爐是一款由RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。
技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱

定制快速退火爐

部分： 管式爐

產(chǎn)品名稱

開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐  

溫度

1000度

控 制 器

LCD觸摸屏

爐管尺寸

石英管 外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口  

加熱區(qū)

300mm  

爐型

開啟式

供電電源

 電壓：380V； 頻率:50 hz；三相

加熱元件

 鹵素?zé)艏訜? 

升溫速率

 30 C/秒

熱 電 偶

  K  型熱電偶測(cè)物料處溫度

溫度控制器

30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

 第二部分  混氣系統(tǒng)

量程

MFC1：氧氣（O2）0-200sccm

MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm

第三部分 真空系統(tǒng)

飛越VDR-4  1L/S  +粉塵過濾器配套防腐數(shù)顯真空計(jì)
快速退火爐

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