一、特殊氣體配比裝置流程概述
特殊氣體配比裝置主要采用控制加入特殊氣體的流量來達到特殊氣體按一定比例混合的目的。一般情況下，是控制含量較少的氣體的流量， 一臺氣體配比裝置主要由特殊氣體流量計、特殊氣體分析儀、PID控制器、流量調節閥、壓力表、混合罐、機箱等組成。
二、原理說明：
特殊氣體分析儀測量得到混合罐內的特殊氣體含量，特殊氣體分析儀將所測得的含量轉換成4～20mA信號，傳送給PID控制器，PID控制器將此信號轉換成機械信號向流量調節閥發出動作指令，指揮流量調節閥的開度大小，流量調節閥的開度大小決定了混合罐內的特殊氣體含量，在不斷調節中，從而達到特殊氣體按一定比例混合的目的。
三、裝置特點
1、特殊氣體分析儀：選用高精度特殊氣體分析儀，測量精確，可靠性高，反應迅速。此特殊氣體分析儀帶4～20mA信號輸出。
2、PID控制器：選用日本SHIMANDEN產PID控制器，控制精度高，能迅速將獲得的信號與設定值對比，并快速發出指令，保證控制的準確度和精度。同時快速的反應能保證特殊氣體含量的穩定。
3、流量控制閥：選用高靈敏度調節閥，閥門動作幅度小，不會出現急開急關的情況，能很好控制氫氣的供給量，從而保證特殊氣體含量的穩定性。
4、設備整體箱式結構，方便安裝，節省空間。
5、PID控制主要是基于含量設定值與含量實際值的差別來實現控制的。當實際值低于設定值時，PID指揮調節閥開大流量，當實際值高于設定值時，PID指揮調節關小流量，如此不斷往復，達到平衡，即設定值與實際值的統一。
四、工藝流程圖：
