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廣州至一科技有限公司
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ToOne氣浮隔震光學平臺ZI-QF科研氣浮隔振光學平臺（科研級）應用領域:適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用產品特點:◆公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺
To One氣浮隔震光學平臺
ZI-QF 科研氣浮隔振光學平臺（科研級）
應用領域:
適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用
產品特點:
◆公司依托于航空工業人員背景研發制造的具有負載能力強、剛性強、穩定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學平臺。
◆優異的隔振性能:內置精密空氣彈簧隔振系統，具備優秀的固有頻率，對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設備儀器精度，提高儀器設備使用精度和使用效率。
◆自動調節水平功能:放置負載的位置發生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓，自動保持水平。氣動元器件全部執行德國 FESTO 產品，標配進口無油壓縮機。
◆臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點，上面板為 1cr17 優質高導磁不銹鋼，經精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、亞光效果， 面板具有M6螺紋孔陣列，易于固定光學元件。
◆隔振支撐為優質鋼管焊接而成，整體堅固穩定。
◆工作壓力為 0.35~0.6Mpa，標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作，用戶只需要將氣管連接進氣口，就能使裝置正常發揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用。
技術指標:
◆平面度:< 0.05mm/m2
◆M6螺紋孔/孔間距 25X25mm
◆表面粗糙度:< 0.8μm
◆固有頻率：X方向:1.0Hz~1.5Hz；Y方向：1.0Hz~1.5Hz
◆減振效率：X方向< 5Hz 時:88%~94% ；Y方向<5Hz 時:86%~92%
X方向<10Hz時:92%~98% ；Y方向<10Hz時:90%~95%
◆振幅:< 1μm
◆荷載能力:800kg/m2
◆重復定位精度:±0.05mm
產品型號：（可根據客戶要求定制不同尺寸）
型號 | 規格（mm） | 支撐數量 | 面板厚度 | 臺面厚度 | 螺紋孔/孔距 |
ZI-QF-06-06 | 600x600x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-075-075 | 750x750x800 | 4 | 6mm | 50mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-09-06 | 900x600x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-10-08 | 1000x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-12-08 | 1200x800x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-12-09 | 1200x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-15-09 | 1500x900x800 | 4 | 6mm | 100mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-16-10 | 1600x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-15-12 | 1500x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-18-10 | 1800x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-18-12 | 1800x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-20-10 | 2000x1000x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-20-12 | 2000x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-24-12 | 2400x1200x800 | 4 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-30-12 | 3000x1200x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-30-15 | 3000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-35-15 | 3500x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-40-15 | 4000x1500x800 | 6 | 8mm | 200mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-50-15 | 5000x1500x800 | 10 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
ZI-QF-60-15 | 6000x1500x800 | 12 | 10mm | 300mm | M6/25X25mm |
實際安裝案例：
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至一科技主動主動隔震系統，桌上型主動隔震臺，桌上型被動隔震臺，桌上型氣浮隔震臺，被動減震器......
廣泛應用于電子顯微鏡、顯微鏡、半導體設備（光刻機、晶圓測試儀）、激光設備、原子力顯微鏡、干涉儀、輪廓儀等等
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| 圖1:ArisMD主動隔震系統安裝案例（主要應用于電子顯微鏡、半導體設備） |
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| 圖2:ArisTT主動隔震臺安裝案例（主要應用于AFM、干涉儀、桌上型電鏡） |
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| 圖3:SotoTT被動隔震臺安裝案例（主要應用于顯微鏡、電子天平、激光設備、半導體測試測試設備） |
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