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杭州太昊科技有限公司


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英福康Transpector MPH 殘余氣體分析儀,四極質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號Transpector MPH

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時間：2024-02-16 07:23:12瀏覽次數(shù)：97次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：王建峰,趙彬山

產(chǎn)品簡介

INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)上等的數(shù)據(jù)采集速度、*低可檢測分壓和*小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

詳細(xì)介紹

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

 

監(jiān)控您的過程

****的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)*長運(yùn)行時間

持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)上等的性能，有助于*大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)上等的數(shù)據(jù)采集速度、*低可檢測分壓和*小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。


功能

  • 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms *高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場更換電子倍增器
  • 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數(shù)量級的動態(tài)量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)
  • 信噪比更高
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

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