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氬氣純化設(shè)備

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

處理氣量：（1-200）Nm3/h壓力：≤1.0Mpa氬氣純度：≥99.999％露點(diǎn)：≤-70℃含氧量：≤1.5ppm含氫量：≤0.5ppm含氮量：≤4ppmΣCH≤1ppm廣泛應(yīng)用于：熔硅單晶爐配套使用，激光器、濺射、半導(dǎo)體生產(chǎn)，氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關(guān)科研和生產(chǎn)部門

詳細(xì)介紹

處理氣量：（1-200）Nm3/h
壓力：≤1.0Mpa
氬氣純度：≥99.999％
露點(diǎn)：≤-70℃
含氧量：≤1.5ppm
含氫量：≤0.5ppm
含氮量：≤4ppm
ΣCH≤1ppm
廣泛應(yīng)用于：
熔硅單晶爐配套使用，激光器、濺射、半導(dǎo)體生產(chǎn)，氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關(guān)科研和生產(chǎn)部門。

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