一、掃描電子顯微鏡SEM3000S產品概述:
掃描電子顯微鏡SEM3000S 是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡。可用于觀察納米級的微觀結構,放大倍數可達到 300000 倍。此型產品具有快速更換燈絲的優點。基于優秀的電子光路設計及新型聚焦系統,其分辨率輕松優于 3 nm。在 100 mm 全自動五軸樣品臺的配合下,是您科研及新材料研發的得力助手。
二、掃描電子顯微鏡SEM3000S產品參數:
掃描模式
行掃:2 ms - 80 ms
幀掃:0.4 s - 160 s
快掃模式:512x512像素(可選256x256像素)
觀察模式:1024x1024像素(三檔速度)
拍照模式:4096x4096像素(三檔速度, 可選1024x1024)
樣品臺
X、Y、Z、R、T 五軸電動樣品臺
X:120 mm;
Y:115 mm;
Z:65 mm;
R:360°;
T:0° 到+90°
真空系統
主泵:渦輪分子泵
前級泵:旋片式機械泵
系統極限真空度:
5 x 10^-4Pa(渦輪分子泵)
安裝要求
電源:AC220 V;50 Hz;2KVA
地線:獨立地線一條,小于10Ω
溫度:15 ℃-30 ℃
濕度:≤70%
地面震動:≤5 μm/sec
交流磁場:≤0.3 μT
門寬:≥900 mm
探測器
二次電子、背散射電子(選配)、X能譜儀(選配)
外形尺寸和重量
主機 :700(W)x750
D)x1600(H);160 kg
三、掃描電子顯微鏡SEM3000S應用案例:
三、