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思顯光電技術(shù)(上海)有限公司


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光譜共焦位移傳感器

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產(chǎn)品型號

品       牌

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產(chǎn)品簡介

光譜共焦位移傳感器測量能力可滿足更多的測量需求1.THINKFOCUS光譜共焦位移傳感器CDS-500光斑更小

詳細(xì)介紹

  • 光譜共焦位移傳感器

    測量能力——可滿足更多的測量需求

    1.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500光斑更小。

    2.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 無平均化處理。

    3.THINKFOCUS 光譜共焦位移傳感器 CDS-500 可同時適應(yīng)多種材料,且穩(wěn)定測量。

    主要型號參數(shù)

    OP2-Fc

    安裝距離:11mm

    量程:±190

    線性度:±0.02%F.S.

    分辨率:10nm

    光斑:10um

    img

    OP3-Fc

    安裝距離:12.7mm

    量程:±550

    線性度:±0.02%F.S.

    分辨率:20nm

    光斑:12um

    img

    OP4-Fe

    安裝距離:19mm

    量程:±1700

    線性度:±0.02%F.S.

    分辨率:40nm

    光斑:20um

    img

    OP5-Fe

    安裝距離:30mm

    量程:±5000

    線性度:±0.02%F.S.

    分辨率:300nm

    光斑:25um

    img

    規(guī)格/測頭

    型號With CDS-500

     

    OP1

    OP2

    OP3

    OP4

    OP5

    安裝距離

    mm 

    8

    11

    12.7

    19

    30

    量程

    μm 

    ±55

    ±190

    ±550

    ±1700

    ±5000

    傾角

    deg 

    ±45°

    ±28°

    ±25°

    ±21°

    ±14°

    放大器型號

     

    Fc

    Fc

    Fc

    Fe

    Fe

    光斑尺寸

    μm 

    2

    10

    12

    20

    25

    位移測量

     

     

    分辨率(平均128次)

    nm 

    2

    5

    10

    20

    150

    精度

     

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    ±0.02%F.S.

    厚度測量

     

     

    最小厚度測量

    μm 

    5

    12

    22

    66

    192

    厚度測量

    μm 

    100

    460

    1540

    4390

    14850

    長度

    mm 

    208

    176

    176

    130.5

    145.5

    直徑

    mm 

    27/40

    27

    27

    27

    27

     

    規(guī)格/控制器

    型號

    CDS-500

    采樣頻率

    200 to 4500 points/sec 用戶可定義

    光源

    藍(lán)色激光

    測量模式

    位移/厚度

    通訊控制

    以太網(wǎng)

    編碼器 增量式(A/B項)

    同步I/O

    1 Trigger input(TTL)5V

    光纖連接器

    FC/APC

    兼容性

    兼容所有型號測頭

    電源/功耗

    24V DC 3A

    工作溫度

    5-40

    放置溫度

    -30-70

    相對濕度

    5%-80%無冷凝

    防護等級

    IP 40

     

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