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蔡司 EVO掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

蔡司EVO系列模塊化的SEM平臺(tái)適用于直觀操作、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起，半導(dǎo)體測(cè)量，同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶

詳細(xì)介紹

蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺(tái)適用于直觀操作、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起， 半導(dǎo)體測(cè)量，同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué)，材料科學(xué)，或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

1.顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案

2.不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺(tái)選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

3.使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

4.對(duì)不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色

5.可以配置多種分析探測(cè)器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

優(yōu)勢(shì)

掃描電子顯微鏡

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡(jiǎn)單易學(xué)，大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

掃描電子顯微鏡

優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長(zhǎng)于對(duì)未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)，維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí)，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、對(duì)比度和信噪比。

掃描電子顯微鏡

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

EVO可以作為半自動(dòng)、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn)，或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

適合更多用戶操作

對(duì)于經(jīng)驗(yàn)豐富的以及新手用戶操作都很方便

在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對(duì)于非專家級(jí)用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰(zhàn)，比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類用戶的需求，用戶界面選項(xiàng)既能滿足有經(jīng)驗(yàn)的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。

專家用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

專家用戶可以獲取以及設(shè)定成像參數(shù)和分析功能。

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新手用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。

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智能導(dǎo)航與成像

大大提高樣品的測(cè)試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出

掃描電子顯微鏡

蔡司導(dǎo)航相機(jī)

相機(jī)可以安裝在倉(cāng)室前方，以監(jiān)測(cè)樣品與背散射探測(cè)器以及物鏡底端之間的相對(duì)位置(倉(cāng)室相機(jī))；或安裝在真空室倉(cāng)門上方 (導(dǎo)航相機(jī))，利用俯視圖查看樣品臺(tái)上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識(shí)別出的預(yù)定義位置，并在整個(gè)樣品測(cè)試過程中輕松導(dǎo)航。

掃描電子顯微鏡

自動(dòng)化智能成像

EVO實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品批量自動(dòng)、無人值守的圖像采集。蔡司自動(dòng)化智能成像非常適合例行檢測(cè)。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域，自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動(dòng)獲取圖像。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測(cè)試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

將您的研究提升一個(gè)層次

使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:

在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下，有更多探針電流可供使用，從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易

在相等的探針電流 (信噪比) 下，光斑直徑要小得多，從而提高了圖像分辨率

掃描電子顯微鏡

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲，右: 使用LaB6燈絲)

當(dāng)在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下，使用LaB6燈絲的用戶將有高達(dá)10倍的光束亮度，從而提高了圖像分辨率和對(duì)比度。

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲，右: 使用LaB6燈絲)

當(dāng)在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下，使用LaB6燈絲的用戶將有高達(dá)10倍的光束亮度，從而提高了圖像分辨率和對(duì)比度。

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

掃描電子顯微鏡

由于蔡司是各種類型顯微鏡和計(jì)量系統(tǒng)的優(yōu)良供應(yīng)商，所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。

通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡的光學(xué)對(duì)比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合，獲得互補(bǔ)的數(shù)據(jù)，從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機(jī)理。

蔡司 SmartEDX

用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會(huì)借助能譜儀（EDS）來采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。

掃描電子顯微鏡

1.針對(duì)常規(guī)顯微分析應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化

SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過謹(jǐn)慎細(xì)致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用，尤其對(duì)于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流（典型的EVO工作條件）下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過率, SmartEDX更適合于探測(cè)到來自輕元素的低能X射線。

掃描電子顯微鏡

2.工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面

SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性。與其他蔡司工作流程引導(dǎo)的軟件解決方案（如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一樣，SmartEDX軟件易于學(xué)習(xí)，使用直觀，并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性，尤其是在多個(gè)操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中。

掃描電子顯微鏡

3.的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡(jiǎn)分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護(hù)、保修、診斷和維修、備件物流以及整個(gè)系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負(fù)責(zé)，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。

EVO 系列

真空室尺寸選擇

	蔡司EVO 10	蔡司EVO 15	蔡司EVO 25
	選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購(gòu)買掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個(gè)EVO真空室很小，它也不同于臺(tái)式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。	EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念，并擅長(zhǎng)于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室，并增加對(duì)不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式，你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。	EVO25 是工業(yè)的主力解決方案，它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件。可選的 80 mm Z 軸行程載物臺(tái)可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能，它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外，大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測(cè)器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。
MAX樣品高度	100 mm	145 mm	210 mm
MAX樣品直徑	230 mm	250 mm	300 mm
電動(dòng)載物臺(tái)行程XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (或 80) mm
高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析	√	√	√
可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析	√	√	√
擴(kuò)展壓力模式 (EP) 含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像	√	√	√