晶圓貼膜機是Ultron Systems的晶圓合框機,可對6英寸、8英寸和12英寸晶圓快速貼膜。
對于切割/鋸切應用,均勻的粘合薄膜層至關重要。我們的晶圓貼膜機具有易于調節的彈簧加載輥組件,以及沿x軸和y軸的薄膜張緊桿,以確保薄膜與晶片和薄膜框架的無氣泡層壓。此外,兩款機型均配備可伸縮薄膜切割系統,切割壓力可調,以適應各種膠帶基材和厚度。根據不同的工藝要求和適應不同的晶片厚度,從裝置的上部調整輥壓力。
晶圓貼膜機數字溫度控制器確保工作臺溫度一致,可重復安裝。可調定位銷和真空杯可容納幾乎任何類型的薄膜框架,包括塑料。對于不同的晶片厚度,工作臺高度也可相對于框架高度進行調整。
晶圓貼膜機有6英寸、8英寸和12英寸的晶片/薄膜框架型號,其特點是:
晶圓貼膜機特點
易于調節的彈簧加載滾輪組件
-均勻的薄膜張力:薄膜張緊桿(對于UH114,沿x/y軸和前部/后部;對于UH14-8,-12,在前部和后部)
-均勻粘合提供無氣泡層壓
-圓形切割機(輪型),用于在膠片架上切割膠片
-不同薄膜的可調切割壓力(厚度/硬度)
-數字溫控臺板
-從裝置頂部開始的可調節工作臺高度
-使用無背襯或背襯(可選)膠片進行操作
-容納纏繞在外部或內部的薄膜/保護層
-可調定位銷和真空杯
-接受所有膠片框架(類型和尺寸)
-用于膜分離的端部切割器
-可容納高達6英寸的晶圓(UH114);高達8英寸的晶片(UH14-8);高達12英寸的晶片(UH114-12)
晶圓貼膜機規格型號
UH114型:
-真空固定標準晶片臺:高達6“晶片或3“-6”多卡盤
-薄晶片臺,最多6英寸晶片
型號UH114-8:
-真空固定標準晶片臺,最多8英寸晶片
-薄晶片臺,高達8“晶片
-膜架轉接環:8“<=>6”
UH114-12型:
-用于12”(300mm)晶片的真空固定標準晶片臺
-用于8“晶片的真空固定標準晶片臺(需要適配器,見下文)
-8“晶片膜架適配器
-薄晶片臺,最多12英寸晶片
-膜架轉接環:12“<=>8”