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倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計Gemini MPG55x / MAG55x
INFICON Gemini™倒置磁控管真空計是所有真空測量應用的動力源泉。Gemini MPG50x將兩項傳感器技術整合在一個小裝置中,測量范圍從大氣壓至1 × 10-9毫巴;而 Gemini MAG50x是一個純冷陰極傳感器系統(不含皮拉尼元件),測量范圍從1 × 10-2毫巴至1 × 10-9毫巴。獲得的超低雜散磁場設計為全新的應用領域開啟了大門。可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護,使Gemini成為同類產品中極其堅固耐用的經濟型真空計。
MAG和MPG Gemini現在提供EtherCAT現場總線和設定點MAG55x和MPG55x。
對于腐蝕性應用,我們建議使用陶瓷涂層版本MxG5x4。傳感頭內部的饋入裝置和皮拉尼采用全陶瓷涂層,增強了耐腐蝕性。
優勢
• 在惡劣環境下,使用壽命長
• 可靠的快速點火
• 低雜散磁場
• 可選測量電流
• 快速維護 — 可更換電離室
• 耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件
• EtherCAT和RS232/RS485數字接口
• 緊湊尺寸,易于集成
• 2個繼電器設定點(MxG55x)
應用范圍
• 基礎壓力監測和控制,在蒸發和濺射鍍膜應用中,測量范圍從大氣壓到高真空。
• 一般真空測量 — 工業爐、建筑玻璃、半導體、生產實驗室。
• 分析和研發應用 — 質譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學、醫療和高能物理。
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