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PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蝕機(jī)二手現(xiàn)貨

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更新時(shí)間：2023-02-26 14:55:53瀏覽次數(shù)：181次

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PVATEPLA/TECHNICS300AUTOLOADPC刻蝕機(jī)

PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蝕機(jī)，2007年設(shè)備，可對(duì)6-8英寸的晶圓進(jìn)行蝕刻工藝加工處理

制造商:PVA TEPLA / TECHNICS

型號(hào):300 AUTOLOAD PC

類(lèi)別:ETCHERS / ASHERS

年份:2007

晶圓尺寸:6"-8"

設(shè)備詳細(xì)信息:

微波等離子批處理系統(tǒng)，6"-8"

當(dāng)前配置用于 6"

PC 控制器

批量大小：(25) 每個(gè)負(fù)載的晶圓

陶瓷腔室（φ x 深度）：9.6" x 15"

微波頻率：2.45 GHz

功率：1000 W

( 4) 氣體通道

MFC 校準(zhǔn) N2

1000 SCCM

MKS Baratron 電容壓力計(jì)

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