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佳能KrF光刻機FPA-6300ESW二手翻新現貨

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更新時間：2023-02-25 13:58:01瀏覽次數：119次

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佳能KrF光刻機FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源，分辨率130nm，專為12英寸晶圓設計

佳能KrF光刻機FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源，分辨率130nm，專為12英寸晶圓設計。

佳能KrF光刻機FPA-6300ESW

FPA-6300ESW 掃描儀配備了廣角鏡頭

通過改變投影鏡頭的放大倍率（4:1 → 3.125:1），FPA-6300ESW掃描儀實現了更寬的曝光范圍，而標線片尺寸保持在6英寸。

FPA-6300ESW是世界上一款無需拼接即可曝光全尺寸CMOS圖像傳感器的 KrF 掃描儀，因為一次可以曝光33mmx42.2 mm。

*拼接曝光：通過連接兩個或多個相鄰曝光區域來增加曝光場大小的方法。相鄰曝光區域的定位精度和對準直接影響良率。

FPA-6300ESW掃描儀源自久經考驗的 FPA-6300ES6a平臺

FPA-6300ESW掃描儀采用為支持前端 (FEOL) 半導體制造工藝而開發的技術，能夠提供與FPA-6300ES6a掃描儀相似的利用率和可靠性。

FPA-6300ESW掃描儀還具有可擴展平臺，允許現場升級以提高生產力和疊加精度。

參數規格

Resolution
≦ 130 nm
NA (Numerical Aperture)
0.45~0.70 (Variable)
Reduction Ratio
1:3.125
Field Size
33 mm x 42.2 mm
Exposure Wavelength
KrF 248 nm
Reticle Size
6 inch
Wafer Size
300 mm (12 inch)
Overlay Accuracy
≦9nm
Main Body Dimensions
(W) 2,300 x (D) 5,155 x (H) 2,900 mm
Major Options
AFIS Illumination System
SMIF OHT Kit
PC Remote Console
GEM-compliant online software
Pellicle Particle Checker

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