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LAM RESEARCH等離子刻蝕系統(tǒng)RAINBOW 4420

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更新時間：2023-02-24 17:55:46瀏覽次數(shù)：140次

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LRCRainbowEtcher是全自動在線單晶圓等離子/RIE蝕刻系統(tǒng)，可處理6英寸或8英寸晶圓，具有頂部或/和底部供電電極板、可編程電極間距和自動非接觸式晶圓對齊和放置

LRC Rainbow Etcher 是全自動在線單晶圓等離子/RIE 蝕刻系統(tǒng)，可處理 6 英寸或 8 英寸晶圓，具有頂部或/和底部供電電極板、可編程電極間距和自動非接觸式晶圓對齊和放置。的射頻匹配網(wǎng)絡(luò)位于上電極和下電極，用于在等離子體和 RIE 模式之間進(jìn)行可編程切換。LRC Rainbow 蝕刻機(jī)專為連續(xù)操作而設(shè)計，由計算機(jī)控制，允許手動或自動控制。Lam Rainbow 44XX 系列可用于硅化鎢、氮化硅、多晶硅、氧化物、結(jié)晶硅等。

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