Suss MicroTec ACS200 是一種自動(dòng)光刻膠涂層和烘烤站，具有盒到盒基底操作。它支持在各種基材上旋涂和噴涂光刻膠。該工具提供完整的抗蝕劑涂層功能，包括高達(dá) 250 °C 的熱板烘烤和背面沖洗自動(dòng)去除邊緣珠。

規(guī)格/能力

Gyrset 旋涂和 Alta 噴涂模塊。

250 °C 可編程加熱板。

自動(dòng)去除邊緣珠和背面沖洗。

使用信息

支持的樣本量

晶圓直徑：200 毫米（8 英寸）。

支持的小件：是的。

基材厚度：5 毫米。

支持的晶圓直徑：

50 毫米（2 英寸）。

75 毫米（3 英寸）。

100 毫米（4 英寸）。

150 毫米（6 英寸）。

200 毫米（8 英寸）。

支持的光掩模尺寸：

125 毫米 x 125 毫米。

150 毫米 x 150 毫米。

典型應(yīng)用

用于光學(xué)圖案曝光的光刻膠涂層。

用于掩模生產(chǎn)的光刻膠涂層。