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8"氧化LPCVD爐（小批量）

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更新時間：2023-02-25 08:01:43瀏覽次數：64次

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產品信息簡介：RTP系統用于IC集成電路，MEMS器件、光電子器件、LED、太陽能電池領域，適用于晶圓的快速熱處理工藝
  • 產品信息
    簡介：

    RTP系統用于IC集成電路，MEMS器件、光電子器件、LED、太陽能電池領域，適用于晶圓的快速熱處理工藝。
     
    產品性能：
     
    熱壁雙腔/鹵鎢燈加熱式/感應加熱式
     
    結構方式：水平/垂直
     
    溫度：200~1100℃
     
     
    配套工藝：
     
    快速退火、合金（RTA / RPP）
     
    快速氧化、氮化（RTO / RTN）
     
    快速氣相沉積（RTCVD）

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