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氣瓶架

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更新時間：2021-12-07 09:15:12瀏覽次數：54次

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產品信息簡介：特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導體制造行業易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應配比系統
  • 產品信息
    簡介：
     
    特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導體制造行業易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應配比系統。
     
    配氣及綜合控制系統，通過計算機遠程終止顯示氣瓶柜/氣瓶架/配比柜等的運行狀態及實時數據，將各種特種氣體精確、安全的、按工藝要求的壓力和流量等供應至工藝設備，確保氣路系統安全、高效運行。
     
    應用于半導體行業、電子材料、太陽能電池行業、生物工程、醫藥衛生、仿真等領域。
     
    產品性能：
     
    ◆完善的安全警報裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）、煙霧、火焰報警
     
    ◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制）
     
    ◆氣路設計合理完善，工作管路具備自動抽空、回充、壓力指示等功能，并帶有氣瓶稱重功能
     
    產品分類
    ◆按瓶數分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）
     
    ◆按氣體分類：氣瓶柜（易燃/易爆/腐蝕/有毒氣體，SiH4、PH3、HCL等）氣瓶架（高純、氬氣、氧氣等）
     

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