• 一、  設備用途
  
  1.本設備可用于玻璃、陶瓷片、藍寶石襯底、硅片、藍寶石襯底、其它半導體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。
  
  二、 設備結構特點
  
  2.1.采用上下磨盤雙變頻電機獨立驅動，上盤轉速可調節，使整機工作時起動平穩、運轉穩定，尤其在低速運轉時，克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現象。
  2.2. 太陽輪由變頻電機獨立控制，可以通過軟件調節行星輪公轉及自轉速度，*和下盤電機分離，非常適合客戶進行多種工藝的選擇要求。
  2.3. 內齒圈、太陽輪及行星輪采用漸開線齒形的柱銷結構，增加了行星輪的強度，并且減少內齒圈及太陽輪的磨損、方便維護。內齒圈及太陽輪安裝了專用的同步升降機構，方便客戶對內齒圈及太陽輪高度進行同步調整。
  2.4. 整機主要受力齒輪采用強化齒輪，并且通過嚴格的調質和淬火處理，各受力傳動零件的強度與剛度較大提高，上盤自重800KG加壓1200KG。同時，也減少整機噪音和震動。
  2.5. 專用設計的簡易式減速機更換結構，可以方便客戶依據產品選擇不同減速比的減速機，可以依據客戶產品定制特殊要求轉速產品。
  2.6. 采用PLC程序控制器，控制整機的動作，實現研磨盤分獨立控制的十六個階段，每個階段的壓力、轉速均可以平穩的逐步增減調節，自動化程度高，并由與之匹配的專業大屏幕觸摸屏作界面，顯示當前整機狀態，實現人機對話，操作一目了然。
  2.7. 主氣缸安裝交叉式鉸鏈鎖緊機構，可方便、安全鎖定上研磨盤。
  2.8. 傳動齒輪由自動加油泵定時集中潤滑，維護簡單，使用壽命長。
  2.9. 標準五電機配置方案，*實現了上研磨盤、下研磨盤、太陽輪、內齒圈和太陽輪內齒圈同步升降的獨立控制，互不干擾。客戶在實現各種復雜工藝時更加得心應手。
   
  三、    主要技術參數