一、概述

   我公司生產的不銹鋼硅烷燃燒塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業生產中產生的硅烷尾氣凈化。該設備的成功應用，主要是我公司技術人員對國外半導體行業凈化硅烷尾氣技術方面的消化吸收，來滿足國內太陽能、光能行業，半導體行業及CVD化學氣體沉積工藝中產生的硅烷氣體凈化。

二、工作原理

    根據硅烷尾氣與空氣接觸而自燃的特點，生產工藝中產生的硅烷尾氣由管道進入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒筒進行燃燒處理，經過燃燒筒處理的尾氣再由管道進入YZR 型不銹鋼硅烷燃燒塔進行二次燃燒處理，燃燒處理后的氣體進入燃燒塔的噴淋室進行一次噴淋處理再穿過填料層進入第二次噴霧處理，使尾氣與中和循環液進行充分的逆向接觸反應，然后通過脫液處理后由抽風機排出。  

三、產品外形

四、流程示意