Focus Beam Profile是德國Degger-tools生產用于光斑檢測設備，主要測量焦點光斑輪廓，尺寸和位置的聚焦光斑分析儀，可以實現對超短脈沖激光狀態的實時監控，主要適用于三個波段：1030/1064nm，515/532nm，343/355nm，該設備的有效傳感面積為6.656 mm x 5.325 mm，在配置對應的采樣器或衰減片后，可以實現大功率的監控需求。

基于相機式原理的相機式光斑分析儀，儀器內部采用CMOS傳感器實現探測，但是單純的CMOS傳感器無法承受焦點光斑的功率密度，因此Degger-tools在激光入口處進行特殊處理，入口前面設計光學成像以及衰減元件。因為超快激光的能量密度過高，必須對所有光學元件對單一波段進行反光涂層，用于實現焦點光斑的監控測試需求，因此僅可對三個波段實現測量。聚焦光斑分析儀在超快激光的精密生產上有廣泛的應用，是調試高精度DOE的*工具。

聚焦光束輪廓分析儀M²測量方法：

聚焦光束監控M2因子一直是激光檢測的難題，傳統利用導軌檢測的方案無法實現焦點測量，因此再檢測時需要在瑞利長度內選取采樣數據，保證數據的準確性。

假設激光波長是1微米，激光聚焦后的瑞利長度就為1.26mm。按照ISO11146檢測要求需要檢測15個截面，如下圖說示，方框里面五次檢測，方框左右各五次檢測。

當激光的聚焦面大致在Focus Beam Profile的入口處的時候，就可以測量當前截面的直徑，通過上下移動振鏡，就可以得到不同截面的激光分布和直徑。一直上下移動就可以找到min的直徑，也就是聚焦平面了，我們定義為Z軸0。

找到聚焦平面后，以當前的激光為例子，需要測量Z軸-1.8mm到1.8mm，

-1.8到-1.2之間需要測量5個截面。

-1.2到1.2之間需要測量5個截面。

-1.2到1.8之間需要測量5個截面。

當然，也可以從-1.8到1.8 每隔0.1mm測量一次。這樣就可以得到所有截面的能量分布，激光直徑。

測量的分布數據可以選擇不同的圖片格式保存下來，jpg，png，tiff，等等。原始數據csv也可以輸出。

超短脈沖聚焦光束分析儀規格參數：

Degger相機式光斑分析儀訂購型號及描述：

Focus Beam Profile