海納光學提供納米定位設備，納米定位平臺，顯微鏡納米定位平臺，OEM納米定位平臺，Queensgate

型號：NPS-X-28C，QGNPS-TG-7A，QGNPS-X-15A，QGNPS-XY-100

PRIOR公司旗下的Queensgate系列納米定位設備（Nanopositioning Devices）擁有悠久而成功的歷史，其專家團隊擁有豐富的知識和經驗，能夠提供一系列OEM納米定位解決方案。

Queensgate系列產品有納米定位設備，納米定位平臺，納米傳感器，控制器和電子設備，還包括納米定位執行器/轉換器和軟件等各種納米技術產品。

一、OEM納米定位平臺

型號：NPS-X-28C納米定位平臺，30μm行程范圍, Nanopositioning

NPS-X-28C是為高速，超精密MR磁頭和磁盤驅動器測試應用而開發的OEM納米定位平臺。它體積小，毫秒響應時間非常適合高可靠性和高吞吐量的應用。NPS-X-28C納米定位平臺具有低移動質量和高剛度相結合，并且提供*的帶寬。

NPS-X-28C納米定位設備采用電容式傳感器設計，提供亞納米位移測量和超過30微米范圍的閉環反饋。設備具有高精度的運動，很大程度上避免寄生運動。結合Queensgate的數字閉環控制器，NPS-X-28C可以實現毫秒響應和穩定時間（settle times）。

NPS-X-28C 30  OEM納米定位平臺的特點：

· >30μm行程，亞納米分辨率

· *諧振頻率> 4.5KHz

· 帶寬高達1KHz

· 原位掃描和步進響應優化

· 穩定可靠，即插即用設施，可實現低停機時間。

控制器型號：

NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器

專為控制Queensgate的納米精密設備而設計。PRIOR的控制器使用現代DSP技術，并結合壓電驅動放大器，電容位置傳感電路和伺服控制功能，同事還使用PID（比例積分微分）反饋，*地改善了穩定時間并弱化了機械共振的影響。虛擬前面板軟件便于用戶控制所有操作參數，包括設置PID循環。

二、Nanopositioning Stages顯微鏡納米定位平臺

PRIOR的Nanopositioning Stages納米定位平臺采用閉環壓電驅動技術。產品規格書中列出了納米平臺對應的標準材料，我們還提供眾多替代材料，包括Super Invar，不銹鋼，鈦和鋁，應用于真空，輻射，高溫兼容等不同的場合。

Queensgate納米定位平臺采用線性或傾斜/旋轉形式，具有單軸和多軸配置，采用高性能壓電驅動，結合Queensgates*的電容位置反饋，提供完整的高性能閉環系統。合理設定閉環數字控制器，即可以實現*即插即用的互換性，使用非常方便。

QGNPS-TG-7A高性能*傾斜納米平臺

納米定位*傾斜納米平臺QGNPS-TG-7A專為需要高速，超高精度，光學檢測中的反射鏡定位、成像系統和激光定位設備而開發。一個的鏡子固定在傾斜基座平臺上，提供> 7毫弧度的行程，具有亞微弧度分辨率。

QGNPS-TG-7A專為高速帶寬而設計，適用于高速應用。 它采用Invar 36結構制造，其低熱膨脹系數與大多數光學元件相匹配，可大限度地減少熱變形，并大限度地減少熱位置移動。標準系統提供± 3.5 mrad行程，但可根據要求提供更短距離選項。

QGNPS-TG-7A納米轉動平臺的特點：

· 每個軸向有超過7mrad的移動范圍，分辨率高達亞微弧度

· Invar 36設計匹配大多數光學元件的熱膨脹并小化任何熱位置移動

· 電容式定位傳感器提供的位置精度和準確度，高位置更新率

· 動態性能，高負載諧振頻率以及超過1KHz的超高伺服環路帶寬

· 封閉機制，高穩定性和可靠性

· 步進時間<2ms

· 即插即用

QGNPS-TG-7A納米旋轉平臺的控制器型號為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，這款納米旋轉平臺可用于激光掃描、激光束穩定、圖像處理和穩定、光學濾波器/開關、掃描顯微鏡（SPM）和激光通信指向設備等領域。

QGNPS-X-15A快速定位微米平臺，15μm行程

QGNPS-X-15A 微米級平臺是專為高速，超精密MR磁頭和磁盤驅動器測試等應用而設計，其具有小巧的尺寸和毫秒的響應時間，非常適合用于高可靠性和高吞吐量的各種應用場合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平臺具有低移動質量（low moving mass）和高剛度，提供*的帶寬。

微米平臺內部集成了緊湊的內部電容式傳感器，可在超過16微米的范圍內提供亞納米位移測量和閉環反饋。提供高純度的運動，將寄生運動減少到通常1微弧度。結合Queensgate的數字閉環控制器，QGNPS-X-15A可以實現毫秒響應和啟動時間。

QGNPS-X-15A快速定位微米平臺的特點：

·15微米行程，亞納米分辨率

·*諧振頻率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)

·負載為50克時響應時間為毫秒級

·原位掃描和步進響應優化

·穩定可靠的工業級產品

·低停機時間，即插即用

QGNPS-X-15A快速定位微米平臺的控制器型號可選NPC-D-5200 Digital Controller或NPC-D-6000 Series。其應用領域涵蓋磁頭和磁盤驅動器測試、干涉測量法、計量學和原子力顯微鏡探針等領域。

QGNPS-XY-100兩軸微米平臺（兩軸100x100µm平臺）

QGNPS-XY-100屬于壓電掃描彎曲導向平臺，帶有集成電容位置傳感器，能夠達到亞納米級的分辨率和重復性。QGNPS-XY-100的彎曲引導結構能夠使兩軸微米平臺在整個100微米范圍內將寄生角運動減少到小于25微弧度。這款兩軸微米平臺還采用了*的等靜壓安裝系統，可確保安裝系統的應力得到適當的釋放，并確定平臺的中心作為坐標參考點。

QGNPS-XY-100A雙軸100μmx100μm超級不脹鋼微米平臺——由超級殷鋼（CTE 0.3ppm K-1）制成，可大限度地減少熱漂移，這一點對于納米平臺非常重要。配備3點可調安裝座。

QGNPS-XY-100D雙軸100μmx100μm超級鋁微米平臺——具有分辨率，快速的XY-100系列動態，非常具有性價比。 配備4個角落安裝。

QGNPS-XY-100特點：

· 每個軸行程大于100微米，亞納米分辨率

· 滯后和線性誤差<0.005％

· *諧振頻率> 350 Hz（NPS-XY-100A），> 500 Hz（NPS-XY-100B），> 650 Hz（NPS-XY-100D）

· 高帶寬（> 50 Hz）和快速響應時間

· 原位掃描和步進響應優化

· 與NPS-Z-15A或NPS-Z-15H配合使用可實現XYZ三軸平移

· 使用超級不脹鋼材料（NPS-XY-100A），鋁合金（NPS-XY-100B）或鋁（NPS-XY-100BD）

QGNPS-XY-100兩周微米平臺的控制器型號為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，其可應用于高精度顯微鏡和原子力顯微鏡，SPM，NSOM等領域。