Maruyama冷卻器冰水機chiller維修服務

半導體專用溫控裝置（Semiconductor Chiller）主要用于半導體制造過程中精確控制反應室的溫度。 它是一種自平衡循環裝置，主要由換熱器、循環泵、壓縮機和控制系統組成。 屬于生產過程中的溫控設備。半導體專用溫控設備利用制冷循環與工藝冷卻水的熱交換原理，高精度控制半導體工藝設備所用循環液的溫度、流量和壓力，以達到半導體工藝的溫度控制要求。它是集成電路制造過程中的關鍵設備。根據不同工藝的要求，控制給定溫度的循環液流過半導體工藝設備反應室內的電極或壁，將熱量帶入半導體專用溫控設備，從而傳遞熱量通過熱交換器進行制冷。制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現工藝過程的溫度控制。

Maruyama Chiller丸山制冷機維修服務

2023年半導體專用溫控裝置市場規模約46.9億元，2019-2023年年復合增長率CAGR約為 %，預計未來將持續保持平穩增長的態勢，到2030年市場規模將接近70.2億元，未來六年CAGR為6.0%。

Maruyama Chiller丸山制冷機維修服務   Maruyama溫控器

可維修Maruyama Chiller丸山制冷機,eYR-8030SC、eYR-9030DC等Maruyama冰水機

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置

快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產

運行穩定、準確控溫

可用選項

省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。

可對應溫度穩定性（空載時）±0.05℃。

循環液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)

冷卻方式：水冷式