紫外線消毒器對紫外線燈管對細菌或細胞照射使大量細菌或細胞中維持生命的主要構成成分核蛋白中的核酸分子因大量吸收紫外線而發生性變，從而破壞其活性，進而達到消毒殺菌的目的，使處理后的水質達到相關的處理標準。通常認為殺菌效果高的紫外線波長是260.0納米，在現有的人工光源中，低壓泵燈的特殊譜線253.7納米與260.0納米接近，所以具有明顯的殺菌效果，但是一般的低壓泵燈雖然在253.7納米處集中了大部分輻射能量，在譜線185.0納米處也具有相當的強度，波長小于200.0納米的紫外線，能被空氣很快吸收而產生臭氧。同時降低超純水的電阻率，因此采用一般低壓泵燈水殺菌裝置不能滿足電子工業超純水系統的要求。 
本裝置采取了特制的高強度無臭氧紫外線燈管和內壁經過特殊拋光處理的304不銹鋼筒體，筒體處側特殊拋光處理，使經過預處理的水在流過筒體時受到253.7納米紫外線的足夠線量的照射，具有良好的殺菌效果。