導電橡膠電阻率測試儀電流測量范圍為20×10-3A～1×10-15A（10fA～20mA）
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準確度:（溫度：18℃～28℃，相對濕度<70%）
優于0.5～1% 讀數 +5字 （10-5～10-10量程）
優于1～2% 讀數 +5字 （10-11～10-14量程）
優于1～2% 讀數 +5字 （10-4量程）
使用環境: 溫度：10℃～40℃，相對濕度<90%
導電橡膠電阻率測試儀電壓表輸入阻抗會引入測試誤差。 硅片幾何形狀，表面粘污等會影響測試結果。
電流換向開關將金屬接觸裝置放在電極上，測量電阻值，對橡膠粘接或固定到金屬部件上的制品的試驗
試驗步驟 清洗使用硅藻土和水的青劑擦洗制品表面并用蒸餾水沖洗，然后在標準試驗溫度下于燥，不得額狀或者損試驗表面。
是否進行了機械調節，如果進行了機械調節，記錄控伸的細節 任何本標準中未提到的幅節，試驗結果;
機械調節在制品生產后和測試之前或在收到制品后和測試之前的時間間隔內，制品應進行以下任一種調節， a） 在室溫下，制晶無變形、不進行任何拉伸
范圍本標準規定了用直排四探針測量硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的方法。
光照、高頻、需動、強電磁場及溫醒度等測試環境會影響測試結果，電極的應用按第8 章的規定，在制品上施加符介所規定的適當的電極和金屬接觸裝置
導電橡膠電阻率測試儀探針（帶有彈簧及外引線）之間或探針系統其他部分之間的絕緣電照至少為10°Ω. 探針排列和間距，四探針應以等距離直線排列，探針閥距及針突狀況應符合 GB/T 552中的規定。
標準電阻;按表2的薄層電阻范圍選取所需的標準電，精度0.05 級
粘接或固定到一個金屬部件上的制品的試驗在測試大制品時，通過協商，允許采用工廠、倉庫或實驗室通常存在的條件，相對醒度不應題過70%。
電極與接觸裝置除非另有規定，一般通過導電銀涂料、膠體石墨或導電液在制品表面形成電極。
雙刀雙撐電位選擇開關。兩端都帶有接頭的膠管的試驗測試兩個接頭之間的電阻。
甲醇，99.5%。 干燥氮氣。測量儀器探針系統操針為具有45"～150°角的圓罐形破化鴨振針，針實半徑分別為35 μm~100μm.100 μm~
測試產品的數量， 單個試驗結果; 試驗結果的平均值， 測試日期。
把一個電極放在制晶的工作表面上，電極尺寸為邊長近似于25 mm的正方形，電極不應題伸到其將金屬接觸裝置放在電極上，測試接觸裝置與粘接或困定的金屬聞的電阻， 粘接或固定到兩個金屬部件之間的制品的試驗
250 μm 的半球形或半徑為 50 μm~125 μm 的平的圓截面。
下列文件中的條款通過本標準的引用商成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的醉新版本。凡是不注日期的引用文件，其醉新版本適用于本標準。 GB/T 1552 硅、儲單晶電阻率測定 直排四探針法
本標準適用于測量直徑大于15.9mm的由外延、擴散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導電類型與被測薄層相反。適用于測量厚度不小于0.2 μm的薄層，方塊電阻的測量范圍為10A~5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測量，但其測量精確度尚未評估。
將金屬接觸裝置放在電極上，測量內表面和3=處外表面電極間的電阻R，及內表面與sm處外表面電極間的電阻R。只要這兩個讀數不超過10'a，R，和R，之差即被認為是3m長管的電阻，如果讀數超過10'A，應仔細檢查所有電慢，確保及有同制品電阻并聯的雜數泄漏電流通道，并且膠管網環帶電極之間不會發生導電接觸，重新進行試驗。
b） 將制品撿伸一次，拉伸至正常使用時的大變形;然后在標準實驗室度下調節.直，兩種方接山相b）調節后測試的結果將不同，調節方裝的志擇度有美產些標準確定.
探針與試樣壓力分為小于0.3 N及0.3 N~0.8N兩種。
電位差計和電流計或數字電壓表，量程為1mV~100mV，分辨率為0.1%，直流輸入阻抗不小
使用的試驗方法標準;使用的特殊程序的細節（見第s章）。使用的標準實驗室溫度和相對濕度; 試驗前進行兩節的時間、溫度和相對濕度;如果不是在標準實驗室溫度下進行試驗，記錄試驗溫度和相對濕度，電極材料和電極尺寸; 電極間的距離;
干擾因素探什材料和形狀及其和硅片表面接觸是否滿足點電流源注人條件會影響測試精度。
試驗報告應包括以下內容，樣品及來源的詳細播述。試驗方法;
試劑，優級純，純水，25 ℃時電阻率大于 2 MN·cm。
樣品臺和操針架樣品臺和探針架應符合 GB/T152 中的規定。 樣品臺上應具有旋轉 360"的裝置。其誤差不大于士5"，測量裝置測量裝置的典型電路叉圖1，
恒意源，按表1的*值提供試樣所需的電流，精度為±0.5%.
GB/T 11073 硅片徑向電阻率變化的測量方法提要
導電液的組成如下∶——無水聚乙烯乙二醇（相對分子質量 600）;800質量份;——水，200o質量份;———任何一種合適的潤醒劑;1 質量鉛;-氧化鉀;10 質量份。
施加于制品上的電壓會影響電阻的測量值，電壓太低可能產生較大的誤差。在有爭議的情況下，其電壓不應低于40 V;但當滿足在制品上消耗的功率不大于3W的要求時，電壓可低于40 V。
使用直排四探針測量裝置、使直流電流通過試樣上兩外探件，測量兩內操針之間的電位差，引人與試樣幾何形軟有關的修正因子，計算出薄層電阻。
試驗儀器的測定電阻誤差應小于 10%，在制品上消耗的功率應不大于3 W。
準確度：±（0.5％讀數＋2字）
BEST-13型靜電計技術指標
絕緣板 ≥100TΩ.m (1014Ω.m)
電源：220VAC、50HZ 10W
電壓電極距離：20mm 重量：331g, 壓力約為 3.25 N
漂 移：時間漂移：24小時小于0.5%;溫漂小于0.05%/℃
輸入阻抗：1×1014Ω（100TΩ）
尺寸：220mm×230mm×80mm
測量范圍：DC±200mV—±200V,采用電阻分壓或電容分壓可擴大測量范圍。
質量：2KG
電流電極距離：100mm
測量原理：本儀表采用*輸入阻抗的高性能集成電路做輸入級，輸入阻抗大于 1×1014Ω
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