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LIF401R 373021-02 海德漢光柵尺高品質

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更新時間:2018-08-24 14:36:21瀏覽次數:490

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產品簡介

LIF401R 373021-02 海德漢光柵尺高品質
海德漢的光柵尺的分辨率高達1納米,光柵尺的精度高達±0.1微米

詳細介紹

LIF401R 373021-02 海德漢光柵尺高品質

LIF401R 373021-02 海德漢光柵尺高品質

 


heidenhain LS177 ML1140 +/-5um,TTLX5

heidenhain LF481C ML350MM IDNR.355530-26

heidenhain LF481C-ML150MM ID.355530-03

heidenhain LIDA360 IDNR.234448-09

heidenhain LIDA360 IDNR.278991-11

heidenhain LIP 481R ID.339640-24

heidenhain LS 106 2840  Id:336958-34

heidenhain LS 177 1140 ID:605352-37

heidenhain LS 177 740 ID:605352-31

德國海德漢HEIDENHAIN位移傳感器的信號處理:
辨向原理
在實際應用中,位移具有兩個方向,即選定一個方向后,位移有正負之分,因此用一個 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02,經過整形后得到兩個方波信號u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u02 90度,反向移動時u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
細分技術
隨著對測量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當的措施對莫爾條紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號變化一個周期內,發出若干個脈沖,以減少脈沖當量。如一個周期內發出n個脈沖,則可使測量精度提高n備,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一:直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號,實現四倍頻細分。其二:電路細分。

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