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主營產(chǎn)品： 儀器儀表、電子設(shè)備、分析儀器、靜電耗材、計(jì)量衡器

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聯(lián)系人：: 蘭亞

地址：: 上海市浦東新區(qū)惠南鎮(zhèn)城南路168號綠地峰匯廣場B座925室

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日本理音RION KS-93粒子傳感器資料下載

2015-12-24　　閱讀(810)

提供商	上海民儀電子有限公司	資料大小	372.9KB
資料圖片	【點(diǎn)擊查看】	下載次數(shù)	65次
資料類型	PDF 文件	瀏覽次數(shù)	810次

【詳細(xì)說明】

日本理音RION KS-93粒子傳感器 產(chǎn)地：日本

Now capable of measuring 0.1 µm particles in semiconductor special material gases
Simultaneous 5-channels particle measurement
Rated flow rate:100mL/min, max.300 mL/min.
Direct measurement of inert gas as well as corrosive, reactive and other gases
Realizes leak-tight, outgas-free conditions without dead space
Supports to SiH4, SiHCl3, HBr, NH3, PH3, HCl,etc.

< Specification >

Optical system	sideway light-scattering system
Light source	Laser diode
Particle size measurement ranges	5 channels (0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5µm)
Flow rate	100 mL/min
Max. Concentration	30,000/min (counting loss within 5%)
Dimensions and weight	Approx. 280(H) X 135(W) X 150(D) mm, Approx. 6.5 kg

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