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上海煜志機電設備有限公司
主營產品: 箱式爐,管式爐,氣氛爐 |

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參考價 | 面議 |
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更新時間:2022-10-21 16:28:26瀏覽次數:466
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YRTP-1105快速退火爐由我公司自主研發的功能強大的加熱設備。該產品采用進口紅外線加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸130MM,可以直接放下5英寸的材料。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。廣泛用于半導體器件研發及生產等領域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
主要功能和特點:
技術參數:
產品型號 | YWRTP-101405 |
爐體結構 | 雙層殼體結構,高精度移動平臺 |
爐膛材質 | *真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 |
爐管材質 | 高純石英管;Φ140*500mm,有效試樣空間:5英寸 |
密封法蘭 | 不銹鋼快速擠壓密封法蘭 |
溫控系統 | 溫度控制系統采用觸摸屏操作,人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能,并可編制30段升降溫程序;控溫精度±1℃ |
顯示模式 | 液晶觸摸屏顯示 |
加熱元件 | 進口紅外燈管 |
測溫元件 | N型熱電偶 |
使用溫度 | zui高溫度1050℃,連續工作溫度≤1000℃ |
升溫速度 | *≤20℃/ sec,zui快升溫速度50℃/sec |
降溫速度 | 200℃以上≤25min |
恒溫區 | 加熱區長度200mm,恒溫區50mm(±2℃);80㎜(±3℃) |
尺寸和重量 | 設備: 610*1150*550mm (深*寬*高); 凈重 85kg |
機器電源 | AC220V,50/60Hz;額定功率15kw |
執行標準 | GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
可選真空 | ≤50Pa(常規機械泵+指針壓力表) ≤10Pa(高配機械泵+數顯壓力表) |
可選混氣 | 多通道浮子、質量混氣系統 |
選購件 | 爐架,各種石英、剛玉坩堝,石英管,高溫手套,計算機控制軟件等。 |