漢鐘PS系列螺桿真空泵特點：

1 排氣路徑短，減少反應物沉積

2線性密封性佳，泵性能*

3結構簡單，故障率低，維修容易

4電機水冷設計，通過防爆認證，安全百分比

5 微電腦操作，遠端監控，保護周全

上海漢鐘干式真空泵 PS系列 
包括機型  漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 PS180，漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS902,漢鐘真空泵 PS1302,漢鐘真空泵 PS1802
 
中國臺灣漢鐘真空泵PS系列產品特點
螺旋真空泵浦產品特色
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果，*壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

泵浦溫度控制精準 
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦的壽命。 

密封馬達安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可*避免制程氣體外漏的風險。

微電腦控制保護周全 
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求*之產業。