設計特點
· 熱式原理
· 一體化設計
· 滿量程從 5sccm 到 1000slpm
· 響應時間不超過 2 秒鐘
· 操作壓力可達 20mpa
· 對安裝位置不敏感
· 316ss 材質，允許測量腐蝕性氣體
· 無直管段要求
· 單電源供電
技術參數
流量范圍 ：從 0-5sccm 到 0-1000slpm n 2 ，具體請參考表一
響應時間 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 114 型）； ± 1.5% 滿量程（ 114 型）
再 現 性 ： ± 0.2% 滿量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 滿量程）
環境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃
zui大操作壓力 ： 3000psig （ 20mpa ） ，具體請參考表一
零點漂移：± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移： ± 0.05 % 讀數 / ℃
壓力漂移： 0.1%/atm （相對于 n 2 ）
安裝方向： 對位置不敏感
預熱時間： 10 分鐘
電氣連接： 卡式（ 20 針）或 d 型（ 9 針）
流量信號輸出：
0-5vdc （zui小負載電阻 2k ω ）；
0-10vdc （zui小負載電阻 3k ω ）；
1-5vdc （zui小負載電阻 2k ω ）；
4-20ma （請參考下面的說明）；
對于流量信號輸出為 4-20ma 的負載電阻：
環路電壓為 6.5-15vdc 時： 0-450 ω
環路電壓為 15-30vdc 時： 200-750ω
供應電源 ：
電壓輸出：＋ 12( ± 5 ％ ) （僅適用于 0-5vdc 和 1-5vdc 流量信號輸出）或 +15( ± 10 ％ )vdc
電流輸出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )vdc
電流消耗：＜ 45madc
重 量 ：請參考表一
結構材質
主 體： 316ss
傳感器組件 ： 316lss
密封材質（" o "型環）： buna n ， epdm ， kalrez ? ， neoprene ， viton?
過程連接： 316ss

表 一

型 號	流量范圍（ n 2 標定） zui小 / zui大	zui大操作壓力 psig （ mpa ）	重 量 lbs （ kg ）
111	0-5sccm/0-10slpm	1500 （ 10.3 ）	0.9 （ 0.41 ）
112	0-10slpm/0-100slpm	1500 （ 10.3 ）	2.1 （ 0.95 ）
113	0- 100slpm /0-500slpm	1500 （ 10.3 ）	5.2 （ 2.4 ）
114	0-500slpm/0-1000slpm	1500 （ 10.3 ）	6.6 （ 3.0 ）
121	0-5sccm/0-10slpm	3000 （ 20.7 ）	0.9 （ 0.41 ）
122	0-10slpm/0-100slpm	3000 （ 20.7 ）	2.1 （ 0.95 ）
123	0-100slpm/0-500slpm	3000 （ 20.7 ）	10.8 （ 4.9 ）

訂貨時須提供以下信息：
1 、產品型號
2 、電氣接口
3 、流量信號輸出
4 、密封材質（閥座 / " o "型環）
5 、接口尺寸和類型
6 、流量范圍
7 、介質（氣體類型）
8 、工作溫度
9 、入口壓力 p1
10 、出口壓力 p2
11 、標定溫度（如 0 ℃ 、 20 ℃、21.1℃、25℃ ）
12 、其它要求