產品展示
日本KOFLOC DF250C系列質量流量控制器
【簡單介紹】
【詳細說明】
日本KOFLOC DF250C系列質量流量控制器設計精密,精度高,速度快成本較低。廣泛用于不同的領域,從實驗室和研究開發項目到各種分析儀器、真空裝置、半導體設備、環境環保儀器、燃燒焊接、新能源設備、生物醫療 等等的標準采用機種,發揮了很好的實際效果。
產品特色:
通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器,實現快速回應。
通用的常閉型閥門確保了安全
標配RS485通訊,數字信號保證了控制的精確性,不受外界干擾
技術參數:
流量FS(N2換算):10SCCM-300SLPM
氣體種類:所有氣體
傳感器類型:熱式芯片傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-99%
控制速度:1秒以內(0-50SLM)、1.5秒以內(100-150SLM)、2秒以內(200-300SLM)
控制精度:±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、
重復性:±0.25%FS
工作差壓:50-350Kpa
使用溫度:0-50℃
允許濕度:0-90%
泄漏率:為1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
產品材質:主體-SUS316
密封圈:Viton
可另選:PTFE、氯丁橡膠,丁腈橡膠NBR
管路接頭:1/4、1/2、3/4英寸卡套
可另選:VCR、RC螺紋可選
電氣接頭:DB型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
數字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII協議 (以太網接口2個,最多串聯99臺)
供應電源:1:+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
2:+24VDC(±10%)300mA
產品特色:
通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器,實現快速回應。
通用的常閉型閥門確保了安全
標配RS485通訊,數字信號保證了控制的精確性,不受外界干擾
技術參數:
流量FS(N2換算):10SCCM-300SLPM
氣體種類:所有氣體
傳感器類型:熱式芯片傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-99%
控制速度:1秒以內(0-50SLM)、1.5秒以內(100-150SLM)、2秒以內(200-300SLM)
控制精度:±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、
重復性:±0.25%FS
工作差壓:50-350Kpa
使用溫度:0-50℃
允許濕度:0-90%
泄漏率:為1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
產品材質:主體-SUS316
密封圈:Viton
可另選:PTFE、氯丁橡膠,丁腈橡膠NBR
管路接頭:1/4、1/2、3/4英寸卡套
可另選:VCR、RC螺紋可選
電氣接頭:DB型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
數字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII協議 (以太網接口2個,最多串聯99臺)
供應電源:1:+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
2:+24VDC(±10%)300mA
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