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美國(guó)英斯特克(Instrutech)CCM502系列冷陰極電離真空計(jì)

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  • 北京頗特儀器有限公司
  • 2022-04-28 13:05:04
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【簡(jiǎn)單介紹】

低雜散磁場(chǎng)技術(shù),*的雙傳感器設(shè)計(jì)可互換,零維護(hù),使用壽命長(zhǎng)

【詳細(xì)說明】

美國(guó)Instrutech CCM502型冷陰極雙反磁控電離真空計(jì),內(nèi)置控制器,提供一個(gè)對(duì)數(shù)線性模擬輸出,一個(gè)傳感器的狀態(tài)輸出,為各種過程控制方案提供了很大的靈活性。傳感器采用緊湊的金屬設(shè)計(jì),簡(jiǎn)單而堅(jiān)固,適用于多種工業(yè)應(yīng)用。在陽極安裝了一個(gè)輔助激活傳感器裝置,節(jié)省了冷陰極傳感器啟動(dòng)時(shí)間。超低雜散磁場(chǎng)的設(shè)計(jì),超越了冷陰極傳統(tǒng)的應(yīng)用,擴(kuò)大了冷陰極技術(shù)使用范圍,例如:CCM502可以將冷陰極傳感器與對(duì)外部磁場(chǎng)敏感的常規(guī)冷陰極真空計(jì)組合使用,這種新型磁場(chǎng)設(shè)計(jì)也允許CCM502使用在強(qiáng)磁場(chǎng)中。雙腔傳感器組件可互換避免清洗,減少維護(hù),從而使CCM502成為和經(jīng)濟(jì)型的真空計(jì)。重質(zhì)氣體建議使用低電流集電極版本,如氬氣,以防止自濺射,而高電流的版本使用推薦氣體,如氮?dú)?空氣。的傳感器設(shè)計(jì)和增強(qiáng)的信號(hào)處理技術(shù)為整個(gè)真空測(cè)量提供了和穩(wěn)定的壓力讀數(shù)。
 
產(chǎn)品特色
●低雜散磁場(chǎng)技術(shù)
●在惡劣環(huán)境下,使用壽命長(zhǎng)
●內(nèi)置控制器,對(duì)數(shù)線性模擬輸出
●雙傳感器可互換,零維護(hù)- 可換插頭
●抗腐蝕饋入裝置
●超緊湊尺寸
●可靠的快速激活傳感器設(shè)計(jì)
 
行業(yè)應(yīng)用
●真空爐
●分析儀器
●真空鍍膜
●半導(dǎo)體
●大學(xué)科研
●工業(yè)-激光
●醫(yī)療
 
性能指標(biāo)
測(cè)量范圍:7.6×10-10~1×10-2Torr
1.3×10-9~1.3×10-2 mbar
1.3×10-7~1.3Pa
精度(N2):7.6×10 ~7.6×10 Torr:±30%讀數(shù)
重復(fù)性:7.6×10 ~7.6×10 Torr:±5%讀數(shù)
暴露在真空的材質(zhì):鎳合金、氧化鋁、不銹鋼、玻璃
內(nèi)部容積:22.8cm (1.391in )
容許壓力:145psi,10bar絕壓(于惰性氣體<50℃)
溫度:工作溫度:+5~+55℃;存儲(chǔ)溫度:-40~70℃
烘烤溫度(法蘭):150℃(于表,電子元件移除)
相對(duì)濕度:
7.6×10-8~7.6×10-3Torr 0~95% 相對(duì)濕度,非冷凝
7.6×10-9~7.6×10 -3Torr 0~70% 相對(duì)濕度,非冷凝
重量:0.28kg(0.61 lb.)(NW25KF接口)
外殼:鋁擠壓
安裝方式:任意
模擬輸出:對(duì)數(shù)線性0~8Vdc,1V/十進(jìn)制
錯(cuò)誤信號(hào):模擬輸出開關(guān)≥10V
響應(yīng)時(shí)間:p=7.6×10 Torr ~1秒
p>7.6× 10-7Torr <100毫秒
輸出狀態(tài):冷陰極開關(guān)狀態(tài)由打開集電極晶體管決定
(30V,VCE,100mA,IC)
晶體管關(guān)=傳感器關(guān),晶體管開=傳感器開
供電電源:14.5~30Vdc,2W電源反接和過壓保護(hù)
電源電壓紋波:≤1Vp-p
測(cè)量室高電壓:工作電壓(陽極):≤3.3KV
傳感器激活電壓(陽極):≤4.5KV
測(cè)量室電流:低電流集電極版本≤100μA
高電流集電極版本≤500μA
電氣連接:9針D型外螺紋
CE認(rèn)證:EMC(EN61000-6-2, EN61000-6-3
EN61010-1, EN61326-1)
環(huán)境認(rèn)證:RoHS認(rèn)證
    
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