?*的排氣量，前級耐壓高達(dá) 18mbar
?壓縮比提高幾個(gè)數(shù)量級卻絲毫不增加泵的體積和重量，對質(zhì)量輕的氣體更為顯著。
特性及優(yōu)點(diǎn)：
?多種語言和計(jì)量單位選擇，可選中文界面
?135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)
?新的電子線路及信號處理設(shè)計(jì)
?Z小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程
?快速清氦和快速響應(yīng)，測試口耐壓高，可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏

性能	前級泵內(nèi)置式
前級泵   油式機(jī)械泵	DS-42 2 m3/hr （34 l/m）
渦卷式干泵	N/A

zui小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下	5×10-12 atm cc/sec； 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium
測試口zui高耐壓	16 mbar，12 Torr，1600 Pa
測試口處對氦氣抽速	1.8 l/s
校準(zhǔn)程序	自動或手動（內(nèi)置或外置）
氦本底清零	按鍵清零，并具有零點(diǎn)追蹤功能
操作界面	高清晰彩顯，TFT觸摸屏
語言選擇	中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語
循環(huán)檢測	可編程粗抽時(shí)間/測試時(shí)間，設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)
響應(yīng)時(shí)間	＜1.0秒