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電弧陰極電子鍍膜機

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更新時間:2017-08-10 09:25:50瀏覽次數:279次

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真空電弧離子鍍的原理是基于冷陰極自持真空弧光放電理論。在電弧源離子鍍中,以鍍膜材料作為靶極(陰極),借助引弧裝置,使靶表面產生弧光放電。
電弧陰極電子鍍膜機

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原產地: 東莞穗誠    
詳細說明真空電弧離子鍍的原理是基于冷陰極自持真空弧光放電理論。在電弧源離子鍍中,以鍍膜材料作為靶極(陰極),借助引弧裝置,使靶表面產生弧光放電。它是一種自蒸發自離化式固體蒸發源。這種蒸發源可蒸鍍金屬材料、合金材料,也可進行反應離子鍍,如tin、tic、(tial)n、 zrn、cn等超硬膜,al、 ag、cu、mcraey等高低溫耐蝕膜、不銹鋼、黃銅、鎳鉻、(tial)n、ti、cr等裝飾保護膜等。我公司生產的多弧離子鍍膜機標準尺寸為:φ800*1000mm, φ900*1000mm, φ1000*1200mm, φ1200*1500mm。電弧源數量分別為8、10、12、14、16個,弧源尺寸:φ100或φ65并可根據用戶需要加裝磁控濺射靶、(旋轉圓柱靶或長方靶)加裝非平衡磁場等,用戶可根據自身需要選擇,也可提出特殊要求,特殊設計制造。我公司電弧源帶有磁場過濾線圈,電脈沖引弧系統,膜層細膩,*特色。
真空電弧離子鍍工作條件及相關參數:
真空度: 5x10-2pa~以上;陰極工作電壓: 60~400伏 ; 起弧極工作電壓: 300~800伏;脈沖頻率: 1—10hz

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